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高温炉操作规程有哪些说明?
发布时间:2016年8月26日

高温炉操作规程

一、 准备工作

a、检查连接线是否正常。

b、检查电源线接触是否良好。

c、检查密封性是否正常。

d、检查冷却水是否正常。

e,、准备所需工具:无水酒精、无尘纸、作业手套、帆布手套、耐高温手套、口罩、石墨推车、不锈钢托盘

 

二、开炉

a、打开主电源开关

b、向炉体充氩气至大气压,打开炉体前门,取下石墨盖板

c、将输送车开关打至 OUT

d、清炉 清理炉膛内壁、石墨件及保温材料上的污物

 

三、装料

a、将石墨坩埚放置于输送车平台上,使用限位杆确定其位置,依次装入硅料。

b、拔出限位杆,输送车开关打至 IN,依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN,将坩埚装入炉膛内,并确定输送车会到初始位置。

c、装入石墨盖板,拧紧石墨螺栓,关紧炉门。

 

四、抽气

a、检查炉门是否关紧,真空系统是否密封。

b、置 DP 按钮于 DP ON,打开干式真空泵,打开真空计开关 P1G1,打开干式真空泵 。阀门,开始抽气测试泄漏率。

c、当压力表指示为 50Pa是关闭真空泵阀门(非真空泵)露铝≤1Pa/min,打开氩气阀门充氩气(20L/min)。

d、加热 先打开水环泵 再按 RUN,开始工艺加热。

e冷却。加热结束后,按工艺条件进行冷却。

 

 

 

 

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